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VZD主动隔振系统

性能指标:

主控频率 1Hz -100Hz

被动防振频率>100Hz

自动负荷调节功能

承载力:600-1600KG

适用设备:

单晶硅拉晶炉半导体检查装置、光学实验设备、纳米级测量测试设备等精密设备。

光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

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