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VM气垫隔振平台(非自动平衡)

性能指标:

VM系列隔振平台采用独立气囊单独充气,具有良好的隔振性能。由于采用独立气囊结构,有效减少了泄漏的发生,一次充气可以使用612个月

荷能力:       

最大1000kg

充气压力:

最大0.6Mpa

固有频率:         

2~3Hz

最大动挠度系数:

1.1×10-3

最大相对位移:     

0.22nm

台面平面度:

0.10mm/m2

适用范围:

★表面粗度仪、外形轮廓仪、显微镜硬度计、仪器花岗石平台、半导体检查装置、光学实验设备等精密设备。

光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

规格参数表:

型号Model

台板尺寸(mm)

平台整体高度(mm)

最大载荷(kg)

螺孔孔径

螺孔距(mm)

支撑腿数量(只)

长度

宽度

台板厚度

VM-0906

900

600

50

800

200

M6

25

4

VM-0906

900

600

100

800

400

M6

25

4

VM-1208

1200

800

100

800

800

M6

25

4

VM-1509

1500

900

100

800

800

M6

25

4

VM-1510

1500

1000

100

800

800

M6

25

4

VM-1511

1500

1100

100

800

800

M6

25

4

VM-1810

1800

1000

200

800

800

M6

25

4

VM-1812

1800

1200

200

800

800

M6

25

4

VM-2010

2000

1000

200

800

800

M6

25

4

VM-2012

2000

1200

200

800

800

M6

25

4

VM-2015

2000

1500

200

800

800

M6

25

4

VM-2412

2400

1200

200

800

800

M6

25

4

VM-2415

2400

1500

300

850

800

M6

25

4

VM-2518

2500

1800

300

850

800

M6

25

6

VM-3012

3000

1200

300

850

800

M6

25

6

VM-3013

3000

1300

300

850

800

M6

25

6

VM-3015

3000

1500

300

850

800

M6

25

6

VM-3512

3500

1200

300

850

800

M6

25

6

VM-3513

3000

1300

300

850

800

M6

25

6

VM-3515

3500

1500

300

850

800

M6

25

6

VM-4015

4000

1500

300

850

800

M6

25

8

VM-5015

5000

1500

300

850

800

M6

25

8

VM-6015

6000

1500

400

850

3000

M6

25

8

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