性能指标：

载荷能力 500～800 kg
充气压力 最大0.6Mpa(6kg/cm2)
固有频率 垂直方向 < 0.6HZ水平方向 < 0.8HZ
台面平面度 0.10 mm/m2
台面孔距 25mm/26mm

适用设备：

★表面粗度仪、外形轮廓仪、显微镜硬度计、仪器花岗石平台、半导体检查装置、光学实验设备等精密设备。

★光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

规格参数表：

VZ主动隔振平台需定做，规格尺寸可以根据实际需求制作。